問
拋光液懸浮物的產生原因有哪些?
拋光液懸浮物的產生,主要源于拋光過程中產生的磨屑、拋光粉等細小顆粒物。在實際的拋光作業里,磨料顆粒、晶圓磨削產生的微小顆粒,以及金屬氧化物等都會混入拋光液,成為懸浮物的一部分。這些懸浮物粒徑小,像二氧化硅磨料顆粒,粒徑常處于幾十納米到幾微米之間,自然沉淀難度大,最終致使拋光液出現懸浮物,造成水體渾濁。
從顆粒特性方面來看,若選用的拋光粉粒徑不合理或者形狀不規則,就容易導致顆粒間的相互作用變得復雜,進而出現團聚現象。團聚后的顆粒體積變大,在拋光液中難以保持良好的分散狀態,最終沉降形成懸浮物。
液體介質的影響也不容小覷。pH值若控制不當,會改變顆粒表面的電荷性質,使得原本相互排斥以維持分散的顆粒,因電荷變化而相互吸引聚集,進而形成懸浮物。而粘度不合適,無法為顆粒提供足夠的阻力來阻止其團聚,顆粒就容易彼此靠近并沉降,導致拋光液中懸浮物增多。
添加劑使用不合理也是重要因素。懸浮劑和分散劑若選擇不匹配,無法有效地包裹顆粒,降低顆粒間的吸引力,就難以維持顆粒的分散狀態。用量沒有優化的話,過少不足以抑制顆粒團聚,過多則可能引起新的化學反應,促使顆粒結合形成更大的團聚體,最終都表現為拋光液中出現懸浮物。
工藝操作環節同樣關鍵。攪拌方式若不適宜,無法提供足夠的剪切力來打破顆粒的團聚,顆粒就會逐漸聚集沉降。在一些情況下,未進行必要的超聲處理,也無法利用超聲的空化效應破壞顆粒間的相互作用,使得顆粒團聚現象得不到改善,從而導致拋光液中懸浮物不斷增加。
總之,拋光液懸浮物的產生是顆粒特性、液體介質、添加劑使用以及工藝操作等多方面因素共同作用的結果。了解這些原因,有助于我們采取針對性措施,減少懸浮物的產生,提升拋光作業的質量與效率 。
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