拋光液專利方法

不同公司擁有不同的拋光液專利方法。隆興拋光材料（東莞）有限公司的“一種高效環保的化學拋光液及其制備方法”專利，涉及特定比例原料制成用于單晶硅片加工的拋光液；晶盛機電的“拋光液供給裝置及供給方法”專利，解決了晶圓拋光技術泄漏結晶物問題；東莞市柯林奧半導體材料有限公司有“一種鎂合金電解質等離子拋光液以及拋光方法”專利；德米特（蘇州）電子環保材料有限公司取得“一種鈦合金的機械化學拋光方法及鈦合金拋光液”專利。這些專利在不同材料加工領域發揮作用。

隆興拋光材料（東莞）有限公司的專利中，化學拋光液原料有著精確的配比。5% - 8%納米金屬磨料、2% - 4%氧化硅磨料，為單晶硅片的精密加工提供了有力的物理研磨基礎。2% - 10%氧化劑，能有效促進化學反應，提升材料去除效率。1% - 5%絡合劑與0.05% - 0.5%緩蝕劑的存在，保障了拋光過程的穩定性與安全性。再加上去離子水作為溶劑，以及pH調節劑將pH調節為7.5 - 8.5，讓整個拋光液體系達到最佳狀態，最終使得硅片表面光滑無損傷。

晶盛機電的專利則聚焦于拋光液供給環節。在晶圓拋光技術領域，其供給裝置的獨特設計令人眼前一亮。殼體作為整體框架，第一供給模塊負責穩定供應拋光液。堵塞檢測模塊中的篩選單元和流量監測單元緊密配合，能精準察覺結晶物泄漏隱患。碎晶模塊更是巧妙，基于篩選單元的堵塞狀態對結晶物執行碎晶操作，雙向沖刷引導的設計讓結晶物集中，大大提升了監測和碎晶操作的便利性與有效性。

東莞市柯林奧半導體材料有限公司的鎂合金電解質等離子拋光液專利，以及德米特（蘇州）電子環保材料有限公司的鈦合金機械化學拋光方法及拋光液專利，也都在各自的金屬材料加工領域有著獨特的技術優勢和應用價值。

這些不同公司的拋光液專利方法，如同工業領域的璀璨繁星，在單晶硅片、晶圓、鎂合金、鈦合金等不同材料加工的天空中閃耀，為相關產業的發展提供了強大的技術支撐，推動著行業不斷向前進步 。

（圖/文/攝：太平洋汽車 整理于互聯網）